2008/12/30 RF射頻系統阻抗匹配與控制電路研討會

射頻電源系統廣泛地運用在電漿製程設備，如表面清潔、乾式蝕刻、鍍膜等，有效地將射頻能量傳送到負載端是相當重要的課題，特別是線圈設計因設備而異，在進行阻抗匹配時，採用的方法也有所不同。本研討會從基本的傳輸線理論開始，一直延伸到高頻訊號特性與電漿阻抗的模型與量測，最後在介紹電漿阻抗匹配的方法與RF電壓、電流訊號量測的電路設計。希望藉由此研討會，讓電漿設備相關的工程師，再調整電漿系統時，能更迅速且確實地抓住關鍵的參數，以節省不必要的嘗試錯誤時間。

講師介紹

林東穎
工業技術研究院南分院 副工程師
經　　歷：工業技術研究院機械所
工業技術研究院雷射應用科技中心
學　　歷：國立成功大學 機械工程 碩士

葉宇展
工業技術研究院南分院 副工程師
經　　歷：工業技術研究院雷射應用科技中心
學　　歷：國立成功大學 工程科學 碩士##CONTINUE##

主辦單位：經濟部技術處 　　
執行單位：工業技術研究院南分院 / 經濟部南台灣創新園區
舉辦日期：97年12月30日（二）9:00~12:00
舉辦地點：經濟部南台灣創新園區服務館201教室(台南科技工業區工業二路31號)
報名方式：
1.即日起請將報名表傳真(06)3847184，或e-mail：vivian-wu @itri.org.tw
2.網路報名：http://airp.org.tw/iars/signup.asp
費 用：NTD$500/人
聯絡人：吳佩霖小姐(06)3847068
e-mail：vivian-wu@itri.org.tw
傳真(06)3847184